氧气

氧气

氧气,化学式O₂,常温下为无色无味气体,在空气中氧气约占21% 。

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沉积气体

沉积气体

化学气相沉积气体用来生成沉积薄膜。不同的沉积薄膜需要不同的电子气体。

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氮气

氮气

氮气,化学式为N₂,通常状况下为无色无味的气体,在空气中氮气约占78.08%,是空气的主要成份。

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刻蚀气体

刻蚀气体

刻蚀过程需要电子气体与被刻蚀物发生化学反应。刻蚀气体与被刻蚀物发生化学反应,导致被刻蚀物消除。

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乙炔

乙炔

乙炔,化学式C2H2 ,是最简单的炔烃,常温下为易燃气体。

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氩气

氩气

氩气,分子式 Ar,通常情况下为无色无臭的惰性气体。

掺杂气体

掺杂气体

离子注入气体是在作为参杂气体注入到晶圆表面。

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二氧化碳

二氧化碳

二氧化碳,化学式CO₂ ,常温下是一种无色无味气体。

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其他气体

其他气体

随着市场的发展,公司自主研发半导体其他工艺所需的稀有气体及其他混合气体,解决部分“卡脖子”产品问题。

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沉积气体

沉积气体

显示面板行业,CVD沉积制备氮化硅层和a-Si可以使用硅烷气体。在LCD中,被用来制作TFT保护层和绝缘层。

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沉积气体

沉积气体

沉积气体主要沉积电池片氮化硅减反膜、poly多晶硅以及晶硅异质结电池的非晶硅薄膜沉积的制备。

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